3
當前位置：安捷倫科技（中國）有限公司>>真空泵>>離子泵和控制器>> VacIon Plus 800 泵
VacIon Plus 800 泵可為大型系統(tǒng)提供出色的分析速度。該泵在超高和很高真空條件下使用，是粒子加速器和大型干涉儀。
這款VacIon Plus 800 泵擁有三極離子泵抽氣單元，可處理大量惰性氣體和氫氣，對甲烷、氬氣和氦氣具有最高的抽速和容量。從擁有額外側孔的 8 英寸或 10 英寸 CFF 法蘭中選擇。
特性
配備三極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 8 英寸或 10 英寸非旋轉型法蘭、額外 ConFlat 孔、雙端和側孔，可選不同方向的真空穿導件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
無活動部件，確保在高靈敏度應用中無振動運行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
性能指標加熱器電壓 加熱器電源 單元類型 工作壽命 抽氣口法蘭 最大啟動壓力 最高烘烤溫度 極限真空 真空高壓接頭類型 重量（只有泵時） 198 kg
437 lbs
Fischer
< 1 x 10-11 mbar
350 °C
≤ 5 x 10–2 mbar
8 英寸 CFF (NW 150)
10 英寸 CFF (NW 200)
80000 小時
StarCell
800 W
100-120/200-240 V
工作原理
二極離子泵元件技術
二極離子泵由一個帶正電的陽極環(huán)元件和一個帶負電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應。濺射和吸收效應與二極離子泵的抽氣效應同步。
三極離子泵元件技術
陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸?shù)疥枠O進行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進的陰極幾何結構發(fā)明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸?shù)母怕?，而鈦陰極可確保為 XHV 范圍內的殘留氣體 H2 提供高抽速。
SEM 陽極設計
由于泵產生的離子流與真空度成正比，在許多應用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設計，該設計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
